热场发射扫描电子显微镜-山东大学空间科学研究院行星科学研究中心

设备名称：热场发射扫描电子显微镜

品牌型号： FEI Nova NanoSEM 450

附件配置：英国牛津X-MaxN50电制冷X射线能谱仪

英国牛津NordlysNano电子背散射衍射仪

性能参数：

1、高真空模式分辨率：1nm(15KV)， 1.4nm(1KV)；

2、加速电压： 50V―30kV连续可调；

3、放大倍数：100倍―80万倍；

4、倾斜角度：-10°―70°；

5、样品台移动范围：X=Y=110mm，Z=50mm。

6、真空度：样品室真空度≤6x10-4Pa，电子枪真空度≤5x10-7Pa。

7、 EDS能量分辨率125eV(Mn Kα)；元素分析范围Be4-Am95。

8、EBSD最高像素分辨率：1344x1024, 取向角度分析精度达0.1度，相鉴定数据库包揽七大晶系。

主要功能：扫描电镜（SEM）适用于固体样品的微观形貌观察和样品表面不同成分分布情况的观察；配备的能谱仪（EDS）可以对样品的元素组成进行定性和定量分析；附件电子背散射衍射仪（EBSD）可以对晶体样品进行晶体学分析。

应用范围：广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。