设备名称：纳米压痕仪

品牌及型号：Anton Paar NHT2

性能参数：

最小有效加载载荷 ≤0.1mN；

最大有效加载载荷 ≥500mN ；

有效载荷分辨率 ≤40nN ；

最小接触力 ≤1uN ；

最大压痕深度 ≥200um ；

位移分辨率 ≤0.004nm；

位移信号稳定水平 ≤0.02nm/sec；

主要测试功能：

对于材料、薄膜或器件进行纳米压入测试。可以得到压入硬度、弹性模量、蠕变、松弛、断裂韧性、弹性功、塑性功、存储模量、损耗模量等各种力学参量。研究硬度以及模量等随深度和位置的变化，用于研究材料的疲劳特性等。

纳米压痕仪收费标准
	校外收费标准	校内收费标准	备注
按量收费	60元/点	30元/点	纳米压痕
	80元/次	40元/次	球磨仪